scdm (scdm) wrote,
scdm
scdm

Category:

Фотолитография

Этой записью я открываю цикл постов о построении самодельной установки для засветки фоторезиста. Где-то год назад я начал неспешные изыскания, в ходе которых накопилось много материала, который жаль потерять, и который неплохо будет систематизировать в одном месте.

Также я буду стараться давать ссылки на источники информации и номенклатуру купленных деталей. Специальный учёт я не вёл, поэтому заранее прошу прощения, если кого-то забуду упомянуть.

Разделы находятся в стадии написания.
Пока висит эта надпись содержимое будет дополняться и, наверняка, изменяться.


Для начала хочу озвучить отброшенные варианты изготовления.

Прямое снятие меди режущим инструментом

  • механическое разрушение не даёт высокой точности. Тонкие дорожки будут рваться.
  • стеклотекстолит невероятно быстро затупляет режущие поверхности. Спозиционироваться так, чтобы не трогать текстолит - невозможно. (кривизна плат, неровная толщина).

  • Прямое снятие меди другими способами

  • лазером. Медь металл, да ещё и "зеркало". Слишком большая мощность потребуется. Дома недостижимо.
  • электроискровым. Нет износа, но точность во много раз хуже, чем у фрезы.

  • Защитный слой на меди и его обработка

    Например нанесение тонкого слоя чёрной краски. Или плёнки. И выжигание на нём. Принципиально (по количеству действий) ничем не лучше технологии с фоторезистом. Но точность наверняка намного хуже. Затрат энергии больше (сжечь труднее чем засветить). Плюс сопутствующие вредные испарения. Которые, к тому же, будут вредить оптике.

    Прямая печать на меди

    Краской/тонером.
    Наверное, это самый реалистичный вариант самоделки. Надо только переделать бумагопротяжной тракт и (для лазерников) способ запекания тонера. Ну и сам тонер/краску подбирать. Чтобы наносился(лась) плотно, и при травлении не сходил(ла), и смывать легко было.
    Мне этот вариант показался неинтересным. Поэтому рассматриваться он тоже не будет.



    Остановился на варианте засветки фоторезиста.

    Основные критерии были следующими:

  • минимум изготовляемых прецизионных деталей.
  • стараться брать детали из отслужившей офисной техники, которая сейчас имеет околонулевую стоимость, при этом технологии недостижимые для домашнего уровня.
  • минимальная толщина линий/зазоров не менее 0,2/0,3. Что предъявляет минимальные требования к точности разметки в ~0,1мм.
  • Точность желаемая 0,05. Идеальная 0,01-0,02мм.
  • максимальный размер платы не меньше листа А4.
  • разумное время работы. Минуты, максимум десятки минут. Ждать часами, пока засветится небольшая плата я не хочу.
  • отсутствие шумов и вибраций при работе установки.
  • бюджетный и простой конструктив.


  • Ссылка: Существующие коммерческие технологии

    PPI (DPI) и размер точки
    PPIDot Pitch (mm)Device
    95,780,02651TV: 46" 4K UHD (или 23" FHD)
    2540,1
    2640,096iPad3/4 Retina 9.7"
    286.090,08878Notebook: 15.4" 4K UHD
    3000,08466
    5380,04725Sharp LS055R1SX
    6000,04233
    8470,03
    12000,0212
    12700,02
    14110,018Sony LCX029
    25400,01


    Ссылка: Математика засветки фоторезиста

    Ссылка: Знакопеременные нагрузки

    Способов засветки ровно два:
    1. Развёртка лазерного луча. Laser Direct Imaging.








    2. Засветка через маску. Etching Mask.




    Subscribe

    • Oxygen exploits (appendable)

      Угадываем, что за root-эксплоиты они сделали для устройств на 64-битных процессорах МТК с обновлением безопасности до 1 марта 2020 года. Тут…

    • Binder CVE-2020-0041

      Introduced at 02 Feb 2019 Found by Syzcaller at 18 Jun 2019, C-repro Upstream patch at 13 Dec 2019 Patched in Android 03 Mar 2020 (bulletin…

    • Disable early PCI DMA

      src Unfortunately this bit is under the control of the device itself, so a malicious device can just ignore this and do DMA anyway. Fortunately,…

    • Post a new comment

      Error

      default userpic

      Your reply will be screened

      Your IP address will be recorded 

      When you submit the form an invisible reCAPTCHA check will be performed.
      You must follow the Privacy Policy and Google Terms of use.
    • 0 comments